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因?yàn)楣璨牧系拇嘈?,機(jī)械切割方式會(huì)對(duì)晶圓的正面和背面產(chǎn)生機(jī)械應(yīng)力,結(jié)果在芯片的邊緣產(chǎn)生正面崩角(FSC- Front Side Chipping)及背面崩角(BSC – Back Side Chipping)。
正面崩角和背面崩角會(huì)降低芯片的機(jī)械強(qiáng)度,初始的芯片邊緣裂隙在后續(xù)的封裝工藝中或在產(chǎn)品的使用中會(huì)進(jìn)一步擴(kuò)散,從而可能引起芯片斷裂,導(dǎo)致電性失效。另外,如果崩角進(jìn)入了用于保護(hù)芯片內(nèi)部電路、防止劃片損傷的密封環(huán)(Seal Ring)內(nèi)部時(shí),芯片的電氣性能和可靠性都會(huì)受到影響。
封裝工藝設(shè)計(jì)規(guī)則限定崩角不能進(jìn)入芯片邊緣的密封圈。
汐源科技現(xiàn)擁有萬(wàn)級(jí)凈化生產(chǎn)制造廠(chǎng)房500平米 測(cè)試廠(chǎng)房300平米 生產(chǎn)測(cè)試設(shè)備均為行業(yè)內(nèi)普遍使用和認(rèn)可的設(shè)備。配備了半導(dǎo)體集成電路測(cè)試儀 分立器件測(cè)試儀 全自動(dòng)金絲硅鋁絲壓焊機(jī) 全自動(dòng)粗鋁絲壓焊機(jī) 平行縫焊機(jī) 激光縫焊機(jī) 燒結(jié)爐 平行逢焊機(jī) 氦質(zhì)譜檢漏儀 氟油粗檢儀 高溫反偏老化 高低溫環(huán)境試驗(yàn)箱 拉力剪切力測(cè)試儀 恒定加速度離心機(jī) 顆粒噪聲檢測(cè)儀 沖擊臺(tái) 電動(dòng)振動(dòng)臺(tái)等 確保了產(chǎn)品按項(xiàng)目嚴(yán)格進(jìn)行篩選。
為半導(dǎo)體行業(yè)設(shè)計(jì)公司以及中科院等研發(fā)單位提供小批量封裝測(cè)試。
通常在切割前會(huì)在晶圓背部貼上UV膜或藍(lán)膜,之后將貼有UV膜的晶圓放入劃片機(jī)中,設(shè)置好程序開(kāi)始劃片,劃片結(jié)束后拿出晶圓,進(jìn)行解UV等工序。藍(lán)膜成本較低,但是需要通過(guò)機(jī)械手段+溫度輔助才能將芯片剝離;而UV膜粘性可以通過(guò)紫外線(xiàn)照射來(lái)改變。在劃片完成后,晶圓被暴露在紫外光下,這使得膜的粘性降低,從而容易地剝離芯片。
高密度的金剛石顆??梢匝娱L(zhǎng)劃片刀的壽命,同時(shí)也可以減少晶圓背面崩角。而低密度的金剛石顆??梢詼p少正面崩角。硬的粘結(jié)材料可以更好地“固定”金剛石顆粒,因而可以提高劃片刀的壽命,而軟的粘結(jié)材料能夠加速金剛石顆粒的“自我鋒利”(Self Sharpening)效應(yīng),令金剛石顆粒保持尖銳的棱角形狀,因而可以減小晶圓的正面崩角或分層,但代價(jià)是劃片刀壽命的縮短。刀鋒的長(zhǎng)度應(yīng)根據(jù)晶圓的厚度,承載薄膜的厚度,大允許的崩角的尺寸來(lái)進(jìn)行定義,刀鋒不能選得過(guò)長(zhǎng),因?yàn)殚L(zhǎng)的刀鋒會(huì)在切割時(shí)引起刀片的擺動(dòng),會(huì)導(dǎo)致較大的崩角。
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