關鍵詞 |
等離子體源濺射,ECR同軸等離子體源,單腔ECR等離子體源,等離子體源 |
面向地區 |
2.45 GHz 微波等離子體源是一種用于產生等離子體的設備，它利用 2.45 GHz（千兆赫）的微波頻率來產生電離氣體。這種技術在各種工業和科學應用中都有重要應用。
材料處理：微波等離子體源可用于表面處理、薄膜沉積和蝕刻工藝。它們可以幫助在各種材料上沉積薄膜，或改變材料的表面特性。
照明：微波等離子體源可用于制造高強度放電燈，如用于投影儀或汽車前燈的金屬鹵化物燈。 醫學應用：微波等離子體源可用于醫療消毒和手術中的組織電凝。
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