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Gemini 物鏡的設計結合了靜電場與磁場, 在提升光學性能的同時將它們對樣品的影 響降至低。因此,即便是要求苛刻的樣 品 —— 如磁性材料,也能進行成像。 在 Gemini 鏡筒設計理念中, Inlens 用二次 電子( SE ) 和背散射電子( BSE ) 探測器來 確保的信號檢測。
Inlens 探測器均放置 在鏡筒內正光軸上, 在減少重新校準耗時 的同時有效地縮短了獲取圖像的時間。 Gemini 電子束推進器技術可以在非常 低的加速電壓下仍獲得小束斑和高信噪比。
此外, 它確保了電子束在鏡筒中運動時始 終保持高加速電壓, 直至出鏡筒后才減速 至設定電壓, 更大程度地減小外部雜散磁 場對系統靈敏度的影響。GeminiSEM 360 、 GeminiSEM 460 和 GeminiSEM 560 三 者 均 應用了 Gemini 設計、 Inlens 探測器和電子 束推進器技術。
充分發揮 Gemini 2 型光學系統的性能優勢
GeminiSEM 460 的 特 殊 之 處 在 于 配 備 的 Gemini 2 型光學系統主要運用了雙聚光鏡, 在獲得理想的小電子束斑同時可連續調節束 流。這使高電子束能量密度下的低束流高分 辨率成像和高束流分析得到了。此外, 您也可以在不同的成像模式之間進行無縫切 換或更改成像參數。此操作簡便快速,因為 在更改成像參數后無需進行校準,而且經調 校的掃描電鏡可以保持穩定地工作。
Nano-twin 物鏡
Nano-twin 物鏡是一種在低加速電壓條件下 工作的電鏡( EM ) 物鏡。通過優化幾何結 構和靜電場及磁場分布, 獲得出色的信號 探測效率, 從而可以在低電壓下達到亞納 米級分辨率。具體來說, 與標準的 Gemini 物鏡相比,它在低電壓下的像差降低了 3 倍。這使得樣品上的磁場降低了 3 倍, 約 為 1mT ,并能夠進行 1kV 以下亞納米成像, 而無需將樣品浸沒在電磁場中。
強化顯微鏡系統
蔡司顯微鏡系統可采用多種方式升級:開放式的升級界面讓您一直保持較高的技術水準。當新 升級的裝備付諸應用時,不僅能延長顯微鏡的使用壽命,還能提高工作效率。
專為日常檢測和分析應用而設計,蔡司 EVO 擁有的操作 設計理念,無論是經驗豐富的顯微技術人員還是不具備掃描 顯微鏡知識的工程師,均可輕松上手。它能夠提供出色 的數據,特別適合于后續檢測中無法涂覆導電層的非
導電零部件。