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智能自動光路調節( Smart Autopilot)
與 Nano-twin 物鏡相結合，新的智能自動光 路調節讓您受益于以下特點：
? 通過聚光鏡優化所有工作條件下的電子束 會聚角，在每種工作能量下都能獲得出色 的分辨率。
分辨率模式
在高分辨率電子槍模式下， 電子束色差降低， 從而實現更小的束斑。
在樣品臺減速技術模式下， 為樣品施加減 速電壓。該減速電壓可進一步提高 1 kV 以 下的圖像分辨率并增強背散射探測器的檢 測效率。
大部分的背 散射電子能夠穿過 Inlens SE 探測器，并被 EsB 探測器收集。此外， Inlens EsB 探測器 還可有選擇地收集不同能量的背散射電子。 如果出射角大于 15 度， 則 BSE 無法進入鏡 筒，但會被 AsB (角度選擇背散射) 或可 抽插式 aBSD 探測器探測到。aBSD 探測器 能夠提供樣品的成分襯度、形貌和 3D 表面 信息。樣品室背散射電子探測器( BSD )和 掃描透射電子探測器可以在低加速電壓下 擁有更率，且能實現超速成像。
維修、維護及優化
確保顯微鏡的正常工作時間。蔡司的維保服務協議可讓您的運行成本更經濟，避免因停機而 造成的損失，并通過提升系統性能達到理想的工作狀態。維保服務協議可為您提供一系列的 可選服務種類以及不同級別的服務。在選擇維保服務方案上我們會給予全力支持，以求滿足 您的系統需求與使用要求，同時遵守您單位的規定。
產品應用領域
■ 金屬 / 高分子 / 陶瓷材料
表面粗糙度分析, 高分辨金相分析, 摩擦磨損分析, 斷口分析, 腐蝕研究, 原位分析。
■ 微納加工
結構分析,表面粗糙度分析, 高深寬比結構表征,膜厚測量。
■ 半導體和微電子
表面缺陷定位和分析、發光缺陷觀察,表面粗糙度分析,膜厚測量等。
■ 醫療器械檢測
表面粗糙度分析,金相分析,膜厚測量,微生物觀察等。
■ 生物材料和醫學
金屬表面細胞生長研究, 微生物金屬腐蝕研究, 植入物表面細菌生長表征等。
成像靈活.光學顯微鏡和共聚焦顯微鏡二合一
■ 實現反射光和透射光的觀察, 同時也可進 行形貌表征;
■ 使用寬場觀察方式實現樣品的定位, 便于 共聚焦顯微鏡進—步原位分析;
■ 無需切換顯微鏡, 減少儀器設置時間, 提 高獲得結果的效率。
