Inlens 探測器均放置 在鏡筒內正光軸上， 在減少重新校準耗時 的同時有效地縮短了獲取圖像的時間。 Gemini 電子束推進器技術可以在非常 低的加速電壓下仍獲得小束斑和高信噪比。
此外， 它確保了電子束在鏡筒中運動時始 終保持高加速電壓， 直至出鏡筒后才減速 至設定電壓， 更大程度地減小外部雜散磁 場對系統靈敏度的影響。GeminiSEM 360 、 GeminiSEM 460 和 GeminiSEM 560 三 者 均 應用了 Gemini 設計、 Inlens 探測器和電子 束推進器技術。

充分發揮 Gemini 2 型光學系統的性能優勢
GeminiSEM 460 的 特 殊 之 處 在 于 配 備 的 Gemini 2 型光學系統主要運用了雙聚光鏡， 在獲得理想的小電子束斑同時可連續調節束 流。這使高電子束能量密度下的低束流高分 辨率成像和高束流分析得到了。此外， 您也可以在不同的成像模式之間進行無縫切 換或更改成像參數。此操作簡便快速，因為 在更改成像參數后無需進行校準，而且經調 校的掃描電鏡可以保持穩定地工作。

Gemini 3 型鏡筒介紹
Gemini 3 型鏡筒是專為表面靈敏成像領域 的苛刻任務而設計，它確保成像在 1 kV 至 30 kV 的所有工作條件下都能達到高分 辨率。它由兩個協同工作的組件組成，即 Nano-twin 物鏡和智能自動光路調節—— 它 們組成一個全新的電子光學引擎。 BSE 的優 勢也可以為您提供良好的圖像襯度，讓您可 以從樣品中提取出盡可能多的信息。

Nano-twin 物鏡
Nano-twin 物鏡是一種在低加速電壓條件下 工作的電鏡( EM ) 物鏡。通過優化幾何結 構和靜電場及磁場分布， 獲得出色的信號 探測效率， 從而可以在低電壓下達到亞納 米級分辨率。具體來說， 與標準的 Gemini 物鏡相比，它在低電壓下的像差降低了 3 倍。這使得樣品上的磁場降低了 3 倍， 約 為 1mT ，并能夠進行 1kV 以下亞納米成像， 而無需將樣品浸沒在電磁場中。

智能自動光路調節( Smart Autopilot)
與 Nano-twin 物鏡相結合，新的智能自動光 路調節讓您受益于以下特點：
? 通過聚光鏡優化所有工作條件下的電子束 會聚角，在每種工作能量下都能獲得出色 的分辨率。

分辨率模式
在高分辨率電子槍模式下， 電子束色差降低， 從而實現更小的束斑。
在樣品臺減速技術模式下， 為樣品施加減 速電壓。該減速電壓可進一步提高 1 kV 以 下的圖像分辨率并增強背散射探測器的檢 測效率。

擴展功能
■ 與蔡司電鏡可實現聯用, 實現樣品的多尺 度多維度研究;
■ 搭載第三方配件, 如冷熱臺, 拉伸臺, 實 現樣品原位 4D 分析;
■ 搭載 Airyscan 實現高分辨熒光成像;
■ 配置 ZEN Intellesis 軟件提供基于機器學習 的圖像分割解決方案,可用于鑒別復雜樣 品的不同相組織。

產品應用領域
■ 金屬 / 高分子 / 陶瓷材料
表面粗糙度分析, 高分辨金相分析, 摩擦磨損分析, 斷口分析, 腐蝕研究, 原位分析。
■ 微納加工
結構分析,表面粗糙度分析, 高深寬比結構表征,膜厚測量。
■ 半導體和微電子
表面缺陷定位和分析、發光缺陷觀察,表面粗糙度分析,膜厚測量等。
■ 醫療器械檢測
表面粗糙度分析,金相分析,膜厚測量,微生物觀察等。
■ 生物材料和醫學
金屬表面細胞生長研究, 微生物金屬腐蝕研究, 植入物表面細菌生長表征等。

成像靈活.光學顯微鏡和共聚焦顯微鏡二合一
■ 實現反射光和透射光的觀察, 同時也可進 行形貌表征;
■ 使用寬場觀察方式實現樣品的定位, 便于 共聚焦顯微鏡進—步原位分析;
■ 無需切換顯微鏡, 減少儀器設置時間, 提 高獲得結果的效率。